מאפיינים:

1) מהירות הניטרידינג מהירה יותר, ניתן לקצר את מחזור הניטרידינג בהתאם, וניתן לקצר את זמן הניטרידינג היוני ל-1/3-2/3 מזמן הניטרידינג בגז.

2) שבירות שכבת הניטרידינג קטנה, והשכבה הלבנה שנוצרת על פני השטח של ניטרידינג בפלזמה דקה מאוד, או אפילו לא קיימת כלל. בנוסף, העיוות הנגרם על ידי שכבת הניטרידינג קטן, דבר שמתאים במיוחד לחלקים מדויקים בעלי צורות מורכבות.

3) ניתן לחסוך בצריכת אנרגיה ואמוניה. צריכת האנרגיה החשמלית היא 1/2-1/5 מניטיריד בגז וצריכת האמוניה היא 1/5-1/20 מניטיריד בגז.

4) קל לממש ניטריד מקומי, כל עוד החלק שאינו זקוק לניטריד אינו מייצר זוהר, החלק שאינו מבצע ניטריד קל להגנה, וניתן להגן על הזוהר באמצעות מיגון מכני ולוח ברזל.

5) הפצצת יונים יכולה לטהר את פני השטח ולהסיר את שכבת הפסיבציה באופן אוטומטי. ניתן לבצע ניטרידציה ישירה של נירוסטה ופלדה עמידה בחום מבלי להסיר את שכבת הפסיבציה מראש.

6) ניתן לשלוט במבנה השכבה המורכבת, בעובי שכבת החדירה ובמבנה.

7) טווח טמפרטורות הטיפול רחב, וניתן להשיג עובי מסוים של שכבת ניטריד אפילו מתחת ל-350 מעלות צלזיוס.

8) תנאי העבודה שופרו. טיפול ניטרידינג פלזמה ללא זיהום מתבצע בלחץ נמוך מאוד עם מעט מאוד גזי פליטה. מקור הגז הוא חנקן, מימן ואמוניה, וכמעט ולא מיוצרים חומרים מזיקים.

9) ניתן ליישם אותו על כל מיני חומרים, כולל נירוסטה, פלדה עמידה בחום עם טמפרטורת ניטריד גבוהה, פלדת כלים וחלקים מדויקים עם טמפרטורת ניטריד נמוכה, בעוד שניטריד בטמפרטורה נמוכה קשה למדי עבור ניטריד בגז.