תיאוריית העבודה：

על ידי שאיבה מוקדמת של התנור לוואקום ולאחר מכן חימום לטמפרטורה מוגדרת, ניפוח אמוניה לתהליך ניטריד, לאחר מכן שאיבה וניפוח נוסף, לאחר מספר מחזורים כדי להגיע לעומק ניטריד המטרה.

יתרונות:

השווה לניטרידינג גז מסורתי. על ידי פעילות פני המתכת בחימום בוואקום, לניטרידינג בוואקום יש יכולת ספיחה טובה יותר, מה שמביא לזמן תהליך קצר יותר וקשיות גבוהה יותר.מְדוּיָקשליטה, פחות צריכת גז, שכבת מתחם לבנה צפופה יותר.