קרבורור ואקום הוא לחמם את חומר העבודה בוואקום.כאשר הוא מגיע לטמפרטורה שמעל לנקודה הקריטית, הוא יישאר למשך פרק זמן, יסיר את הגז ויסיר את סרט התחמוצת, ולאחר מכן יעבור פנימה את גז הקרבור המטוהר לקרבור ודיפוזיה.טמפרטורת הקרבור של קרבור ואקום גבוהה, עד 1030 ℃, ומהירות הקרבור מהירה.פעילות פני השטח של חלקים מקרבים משתפרת על ידי הסרת גז והסרת חמצון.מהירות הדיפוזיה שלאחר מכן גבוהה מדי.קרבור ודיפוזיה מתבצעים שוב ושוב לסירוגין עד הגעה לריכוז ולעומק השטח הנדרשים.
ניתן לשלוט בעומק הקרבור בוואקום ובריכוז פני השטח;זה יכול לשנות את המאפיינים המתכתיים של שכבת פני השטח של חלקי מתכת, ועומק הקרבור האפקטיבי שלו עמוק יותר מעומק הקרבורציה בפועל של שיטות אחרות.